亚洲综合无码日韩国产加勒比-欧美激情精品久久久久久-最新亚洲人成网站在线影院-国产精品乱码高清在线观看-国产午夜福利精品久久

你的位置:首頁 > 互連技術 > 正文

以工藝窗口建模探索路徑:使用虛擬制造評估先進DRAM電容器圖形化的工藝窗口

發布時間:2023-11-29 來源:泛林集團 責任編輯:lina

【導讀】持續的器件微縮導致特征尺寸變小,工藝步驟差異變大,工藝窗口也變得越來越窄[1]。半導體研發階段的關鍵任務之一就是尋找工藝窗口較大的優秀集成方案。如果晶圓測試數據不足,評估不同集成方案的工藝窗口會變得困難。為克服這一不足,我們將舉例說明如何借助虛擬制造評估 DRAM 電容器圖形化工藝的工藝窗口。


以工藝窗口建模探索路徑:使用虛擬制造評估先進DRAM電容器圖形化的工藝窗口


持續的器件微縮導致特征尺寸變小,工藝步驟差異變大,工藝窗口也變得越來越窄[1]。半導體研發階段的關鍵任務之一就是尋找工藝窗口較大的優秀集成方案。如果晶圓測試數據不足,評估不同集成方案的工藝窗口會變得困難。為克服這一不足,我們將舉例說明如何借助虛擬制造評估 DRAM 電容器圖形化工藝的工藝窗口。


在 DRAM 器件開發中,必須在硅晶圓上刻蝕用于存儲電荷的電容孔陣列??捎脕碇圃?40nm 孔陣列的圖形化方案包括極紫外光刻刻蝕、四重光刻刻蝕、雙自對準雙重圖形化技術 (SADP)(80nm芯軸間距)和雙自對準四重圖形化技術 (SAQP)(160nm芯軸間距)。在這項研究中,我們選擇了浸潤式雙 SADP 和 SAQP 圖形化方案,并對其工藝靈敏性和工藝窗口進行了比較。我們為每個圖形化方案 (SADP和SAQP) 建立了虛擬工藝流程(如圖1),并將電容器孔面積作為電容及其均勻性分析的衡量標準。為了算出孔面積的變化范圍,我們在 SEMulator3D 中使用結構搜索,尋找 4×4 孔陣列中電容器孔面積的最小值和最大值,并計算出平均面積和面積差值。圖2顯示了一次輸出結構的測量結果,其中確定了結構中孔面積的最小值和最大值。


以工藝窗口建模探索路徑:使用虛擬制造評估先進DRAM電容器圖形化的工藝窗口

圖1:SADP和SAQP的主要工藝步驟


以工藝窗口建模探索路徑:使用虛擬制造評估先進DRAM電容器圖形化的工藝窗口

圖2:最小面積與最大面積的虛擬測量結果


基于以上的虛擬流程和測量,我們使用 SEMulator3D 分析模塊,進行了3000次蒙特卡羅實驗。我們將芯軸關鍵尺寸和間隔層厚度設置為實驗設計的輸入參數,將平均面積和面積變化范圍設置為輸出參數。表1列出了 SADP 和 SAQP 工藝的輸入參數值范圍。虛擬實驗設計結果幫助我們研究每項輸入對平均面積和面積變化范圍的影響。在表1中,MX 表示 X 方向芯軸關鍵尺寸;MY 表示 Y 方向芯軸關鍵尺寸;SPX1 表示 X 方向第一個間隔層厚度;SPX2 表示 X 方向第二個間隔層厚度;SPY1 表示 Y 方向第一個間隔層厚度;SPY2 表示 Y 方向第二個間隔層厚度。


以工藝窗口建模探索路徑:使用虛擬制造評估先進DRAM電容器圖形化的工藝窗口

表1:實驗設計變量及輸入范圍


平均面積越大、面積變化范圍越小,電容分布就越密集且均勻。通常認為,平均面積在900nm2至1100nm2之間,面積變化范圍小于200nm2被定義為實驗成功。在特定條件下,可以為工藝窗口算出成功模擬實驗在總體實驗所占比率(稱為規格內比率),從而生成平均值和3-sigma(±3*標準差)分布。這個比率表示產生成功標準范圍內平均面積和面積變化范圍需要的輸入組合比例。


為了最大化平均±3 sigma窗口中的實驗成功次數,可以通過調整輸入工藝參數平均值的方法,優化規格內比率[2]。如果優化后的規格內比率仍然不夠高,還可以通過提高規格 (3 sigma) 要求,進一步對其進行優化。我們計算了不同條件下 SADP 和 SAQP 工藝的規格內比率。在 3 sigma 分布相同的情況下,SADP 工藝的規格內比率比 SAQP 工藝高約10%。調整芯軸關鍵尺寸的 3-sigma 規格后,SADP 工藝的規格內比率接近100%。當芯軸關鍵尺寸相同時,SAQP 工藝的規格內比率較低,表明 SAQP 工藝窗口需要進一步緊縮。


結論


在這項研究中,我們使用虛擬制造為先進 DRAM 結構中的電容器形成工藝進行了工藝窗口評估和優化。虛擬評估提供了明確且可量化的指導,幫助我們判斷在先進 DRAM 結構中使用不同圖形化方案的工藝難題。最重要的是,我們能在晶圓實驗前確定每個圖形化方案的最佳工藝目標組合和條件允許的最大工藝窗口。


參考資料:

1.A.J., Strojwas, 2006 IEEE International Symposium on Semiconductor Manufacturing (pp. xxiii-xxxii).

2.Q. Wang, Y. D. Chen, J.  Huang, W. Liu and E. Joseph, 2020 China Semiconductor Technology International Conference (CSTIC) (pp. 1-3).

(作者:泛林集團 Semiverse Solutions 部門半導體工藝與整合高級工程師王青鵬博士)


免責聲明:本文為轉載文章,轉載此文目的在于傳遞更多信息,版權歸原作者所有。本文所用視頻、圖片、文字如涉及作品版權問題,請聯系小編進行處理。


推薦閱讀:

如何設計電池充電速度快4倍的安全可穿戴設備

電池冷卻系統對電動汽車如何重要?

如何為ADAS 域控制器構建多攝像頭視覺感知系統?

漫談QLC其二:扛起NAND家族重任,老四QLC

SPICE與IBIS:為電路仿真選擇更合適的模型


特別推薦
技術文章更多>>
技術白皮書下載更多>>
熱門搜索
?

關閉

?

關閉

主站蜘蛛池模板: 成人免费国产精品视频| 国产成人av在线免播放app| 白天躁晚上躁麻豆视频| 97久久超碰亚洲视觉盛宴| 精品无人区乱码1区2区3区在线| 97成人精品区在线播放| 色婷婷久久综合中文久久蜜桃av| 精品偷拍一区二区三区在线看| 九九精品无码专区免费| 丝袜人妻一区二区三区网站| 五月丁香激激情亚洲综合| 最新亚洲春色av无码专区| а√天堂8资源中文在线| 久久综合久久美利坚合众国| 免费无码av污污污在线观看| 亚洲中文字幕日产无码| 欧美国产日韩在线三区| 国产区精品一区二区不卡中文 | 亚洲中亚洲中文字幕无线乱码| 日韩av高清在线观看| 国产亚洲精品久久久久久禁果tv| 中文字幕乱码一区av久久不卡| 亚洲日韩精品看片无码| 久久欧美国产伦子伦精品| 亚洲精品四区麻豆文化传媒| 色播在线精品一区二区三区四区| 美女mm131午夜福利在线| 亚洲精品国产首次亮相| 精品熟人妻一区二区三区四区不卡| 国产99视频精品免费视频6| 少妇的肉体在线观看| 亚洲国产成人无码精品| 韩国无码av片在线观看网站| 日本最新高清一区二区三| 国产精品亚洲а∨无码播放麻豆| 日韩欧美成人免费观看| 成在线人免费视频播放| 秋霞鲁丝片一区二区三区| 久久香蕉国产线看观看猫咪av| 狠狠躁夜夜躁青青草原软件| 亂倫近親相姦中文字幕|